(社)エレクトロニクス実装学会 配線板製造技術委員会
マイクロファブリケーション研究会
第2回公開研究会開催のご案内
「化学的方法によるマイクロファブリケーション」 |
エレクトロニクス実装学会配線板製造技術委員会(委員長・佐藤祐一:神奈川大学)/マイクロファブリケーション研究会(主査・縄舟 秀美:甲南大学)では、下記の要領で公開研究会を開催します。今回はビルドアップ基板のマイクロビアや、ダマシンプロセスによるULSIのホールや溝への銅めっきによるフィリング技術に関するテーマを取り上げます。奮ってご参加ください。 |
*開催日 | 平成12年8月25日(金) 13:30~17:00 | |
*会 場 | エレクトロニクス実装学会 会議室 | |
東京都杉並区西荻北3-12-2(西荻窪駅下車徒歩5分) | ||
*テーマ | 化学的方法によるマイクロファブリケーション | |
*プログラム | ||
13:00~ | 受付開始 | |
13:30~13:50 | 「ビア穴埋めに用いる銅めっき添加剤のメカニズム」 | |
林 克彦氏,近藤和夫氏(岡山大学) | ||
13:50~14:10 | 「銅めっき配線におけるホール・溝埋め込み形状シミュレーション」 | |
小林金也氏(日立製作所) | ||
14:10~14:50 | 「マイクロプレイティング テクノロジー」 | |
葛島俊夫氏(日本EEJA) | ||
14:50~15:00 | 休 憩 | |
15:00~15:40 | 「硫酸銅めっきによるビアフィリング」 | |
荻原秀樹氏(荏原ユージライト) | ||
15:40~16:20 | 「PR法によるマイクロビアへの銅めっき」 | |
清田 優氏(日本リーロナール) | ||
16:20~17:00 | 「ULSIやビルドアップ基板への銅めっきによるフィリング技術」 | |
本間英夫氏(関東学院大学) | ||
17:00~17:10 | 総 括 | |
17:30~19:00 | 技術交流会 | |
*定 員 | 100名(先着申込順) | |
*参加費 |
公開研究会(テキスト代、消費税込み) 会員:7,000円 非会員:9,000円 |
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参加費は当日、会場受付にて徴収します(釣り銭のないようにお願いします)。 | ||
*申込先 | エレクトロニクス実装学会 事務局(TEL 03-5310-2010) | |
参加申込書に必要事項をご記入のうえ、ファクシミリまたはE-mail でお申し込み下さい。 |