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主 題: |
「電子材料のナノスペースの制御」 |
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主 催: |
エレクトロニクス実装学会 材料技術委員会ナノテク材料研究会 |
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日 時: |
2006年3月10日(金) 13:30 - 16:45 |
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場 所: |
キャンパス・イノベーションセンター 国際会議室 〒108-0023 東京都港区芝浦3-3-6 http://www.mext.go.jp/b_menu/houdou/15/07/03073103/004.pdf (PDF) |
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交 通: |
JR京浜東北線・山手線田町駅より徒歩1分 都営三田線・浅草線三田駅より徒歩5分 |
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講 演: |
13:30 - 14:30 |
『高強度Low-k(多孔性)層間絶縁膜材料』 中島 昭(触媒化成) |
14:30 - 15:30 |
『65nm以降のLSI適用に向けたCu/ポーラスLow-k多層配線の開発』 矢野 映(富士通研究所) |
15:45 - 16:45 |
『陽電子消滅法による薄膜材料の分析』 小林 慶規(産業技術総合研究所) |
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参加要領: |
1) 定員100名
2) 参加費 会員:6000円,非会員:8000円,学生:無料
3) 申込方法 氏名,勤務先,連絡先(〒・住所・電話・E-mail),種別(会員,非会員,学生の別),支払い方法(銀行振込,当日払)を明記の上,E-mailまたはFAXでお申し込み下さい。
銀行振込の場合,三菱東京UFJ銀行土浦支店普通預金No.3977732「ナノテク材料研究会」名義を利用ください(振込手数料は振込人にてご負担ください)。
ただし,請求書の発行はできません。 |
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申込先: |
〒305-0841 茨城県つくば市御幸が丘25 JSR(株) 筑波研究所 大月敏敬 TEL: 029-856-2878 FAX: 029-856-1477 E-mail:toshihiro_ootsuki@jsr.co.jp |