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若手研究会

一般社団法人エレクトロニクス実装学会 関西支部
第27回若手研究会セミナー

よくわかるMEMSデバイス~基礎から最新アプリケーションまで~

MEMS(Micro Electro Mechanical Systems:微小電気機械システム)とは、電気回路(制御部)と微細な機械構造(駆動部)を一つの基板上に集積させたセンサやアクチュエータなどのデバイス・システムのことであり、半導体製造技術やレーザー加工技術等の微細加工技術に代表されるナノテクノロジーや各種材料技術等を駆使して製造されています。今後、製造業の基盤を支えるキーテクノロジーの1つとであるMEMS技術を一層高度化し、多様な技術の融合を図りながらモノづくりを進めることがますます必要になると考えられます。

本セミナーでは、京都先端科学大学 生津資大先生に、“MEMS基礎技術と材料研究応用”について、MEMS設計・作製の基礎技術、および、それらを用いた材料研究への応用についてわかりやすく解説していただきます。また、MEMSデバイスの最近の動向について、MMIセミコンダクター株式会社 藤岡信嘉様より、“MEMS技術を用いたセンサと社会実装”という話題でセンサ応用の例についてご紹介していただきます。さらに、SPPテクノロジーズ株式会社 金尾寛人様からは、“MEMS製造技術の最新動向、及び最新アプリケーション”という話題で、製造技術とアプリケーションについてご紹介いただきます。

若手・中堅のMEMS技術者の方だけでなく、はじめてMEMSに触れられる方まで、多くの皆様のご参加をお待ちしております。

主 催: 一般社団法人エレクトロニクス実装学会関西支部
協 賛: 溶接学会マイクロ接合研究委員会、 日本信頼性学会関西支部、
日本機械学会関西支部、応用物理学会関西支部、
スマートプロセス学会エレクトロニクス生産科学部会、 電気学会関西支部、
日本材料学会関西支部、 電子情報通信学会関西支部、
電気鍍金研究会、表面技術協会関西支部、
日本接着学会関西支部(依頼中含む)
期 日: 2022年3月1日(火)13:30~17:00
開催方式: WEB公開研究会
ZOOM ウエビナー使用
※参加URL等の聴講情報は、申込受付時のメールにてご連絡致します。
プログラム:
13:30~13:35
開会挨拶
13:35~15:35
「MEMS基礎技術と材料研究応用」
 京都先端科学大学工学部機械電気システム工学科 教授 生津 資大先生

(概要)
半導体加工技術を駆使したMEMSの開発は数十年続いてきた。その用途は多岐にわたり、これからの安心・安全な社会への更なる貢献が期待できる。本講演ではMEMS製造に関する基礎技術を概説するとともに、MEMSを使ったナノ材料研究の事例を幾つか紹介する。
15:35~15:50
休憩
13:50~16:20
「MEMS技術を用いたセンサと社会実装」
 MMIセミコンダクター株式会社 藤岡 信嘉様

(概要)
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術を用いたマイクロセンサについて、その特徴および有用性を述べるとともに、MEMS技術の産業応用・社会実装の例を紹介する。
16:20~16:50
「MEMS製造技術の最新動向,及び最新アプリケーション」
 SPPテクノロジーズ株式会社 金尾 寛人様

(概要)
MEMS製造技術は、従来の半導体製造技術に比べ、いくつかの特徴的な製造技術が適用されている。例えば、Si深掘り技術や犠牲層エッチング技術などがある。本講演では、それらの最新動向、さらにMEMS製造技術を用いてMEMSデバイスが製作されるが、それらのアプリケーション例を紹介する。
16:50~16:55
閉会挨拶
定員: 100名(定員になり次第締め切ります)
参加費: JIEP会員、協賛学協会会員 3,000円
シニア会員 2,000円
名誉会員・学生会員 無料
非会員 5,000円
非会員学生 2,000円

※税込。
※申込が受理されますと、返信メールで 公開研究会への参加URLやお支払いに関する情報をご連絡致します。ご申請の手順に従って、参加費のお支払いをお願い致します。
なお、請求書や振込確認後の領収書のご発行は、返信メールのマイページから出力が可能です。 また、WEBの請求書が原紙扱いになりますので、ご了承ください。
※非会員で申込みと同時にエレクトロニクス実装学会にご入会いただいた方は、会員扱いとさせていただきます。ご入会を希望される方は、その旨明記の上お申込み下さい。
申込み方法: 下記の参加申し込みフォームからご登録下さい。
個人会員
https://service.kktcs.co.jp/smms2/event/jiep/150
非会員/賛助会員
https://service.kktcs.co.jp/smms2/event/jiep/151
クーポン使用
https://service.kktcs.co.jp/smms2/event/jiep/152
問合先: エレクトロニクス実装学会 関西支部事務局(若手研究会セミナー担当)
info-kansai(*)jiep.or.jp((*)⇒@)

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