MEMS（Micro Electro Mechanical Systems:微小電気機械システム）とは、電気回路（制御部）と微細な機械構造（駆動部）を一つの基板上に集積させたセンサやアクチュエータなどのデバイス・システムのことであり、半導体製造技術やレーザー加工技術等の微細加工技術に代表されるナノテクノロジーや各種材料技術等を駆使して製造されています。今後、製造業の基盤を支えるキーテクノロジーの1つとであるMEMS技術を一層高度化し、多様な技術の融合を図りながらモノづくりを進めることがますます必要になると考えられます。

本セミナーでは、京都先端科学大学　生津資大先生に、“MEMS基礎技術と材料研究応用”について、MEMS設計・作製の基礎技術、および、それらを用いた材料研究への応用についてわかりやすく解説していただきます。また、MEMSデバイスの最近の動向について、MMIセミコンダクター株式会社　藤岡信嘉様より、“MEMS技術を用いたセンサと社会実装”という話題でセンサ応用の例についてご紹介していただきます。さらに、SPPテクノロジーズ株式会社　金尾寛人様からは、“MEMS製造技術の最新動向、及び最新アプリケーション”という話題で、製造技術とアプリケーションについてご紹介いただきます。

若手・中堅のMEMS技術者の方だけでなく、はじめてMEMSに触れられる方まで、多くの皆様のご参加をお待ちしております。